泄漏的檢測(cè)方法有浸水法、涂肥皂液法、放電法、漏嘴測(cè)量法及壓力測(cè)量法等。浸水法及涂肥皂液法只能做定性觀察而且有很大的局限性；漏嘴測(cè)量法，測(cè)量準(zhǔn)確度低、價(jià)格高、易損壞且對(duì)操作員要求高；放電法也僅適用于真空系統(tǒng)的玻璃容器；唯有壓力測(cè)量法適用面廣、測(cè)量準(zhǔn)確度高、性能穩(wěn)定且操作簡(jiǎn)便，在近年來(lái)得到越來(lái)越多地重視和運(yùn)用。

處于壓力測(cè)量狀態(tài)下的密封容器的泄漏意味著容器內(nèi)所含物質(zhì)量的減少。例如，當(dāng)容器壓力為100kPa時(shí)，且容器內(nèi)所含物質(zhì)為空氣，并設(shè)容器容積為100mL，其含空氣的質(zhì)量約為120mg，這時(shí)容器若有微量泄漏，則引起所含空氣質(zhì)量的變化是十分微小的，采用直接測(cè)量質(zhì)量變化的方法來(lái)檢測(cè)泄漏，在理論上是可行的，但在技術(shù)上、工藝上往往是做不到的。而真空測(cè)漏箱采用壓力檢測(cè)方法，卻可以高精度、非常靈敏地檢測(cè)密封容器因泄漏引起的微小質(zhì)量變化。

第一、壓力檢漏法

壓力檢漏法是指將被檢漏的真空系統(tǒng)或真空容器充入具有一定壓力的示漏物質(zhì)，如水、空氣等，一旦被檢空間存在漏隙，示漏物質(zhì)就會(huì)從漏隙中漏出。這樣通過(guò)一定的方法或儀器發(fā)現(xiàn)從漏隙中漏出的示漏物質(zhì)，從而發(fā)現(xiàn)漏隙所在以及漏隙的泄漏量情況。

第二、真空檢漏法

真空檢漏法與壓力檢漏法相反，是將被檢的真空系統(tǒng)或真空容器與檢漏設(shè)備的敏感元件抽成真空狀態(tài)，然后將示漏物質(zhì)依次施加在被檢系統(tǒng)或容器的外面可疑部位。如果被檢的真空系統(tǒng)或真空容器存在漏隙，示漏物質(zhì)會(huì)通過(guò)漏隙進(jìn)入到真空系統(tǒng)或真空容器中，并被檢漏設(shè)備的敏感元件檢測(cè)到、判斷出漏隙位置與大小等情況。

第三、背壓檢漏法

背壓檢漏法是壓力檢漏與真空檢漏相結(jié)合的一種方法，多用于封離后的電子器件、半導(dǎo)體器件等密封件的無(wú)損檢漏。一般包括充壓、凈化、檢漏三個(gè)步驟：先是被檢設(shè)備置于高壓示漏氣體環(huán)境中，隨著浸泡時(shí)間的增長(zhǎng)及充壓的增大，示漏氣體進(jìn)入被檢設(shè)備；然后利用干燥氮?dú)饣蜢o置等方法凈化吸附在被檢設(shè)備外表面的示漏氣體（凈化時(shí)間的長(zhǎng)短會(huì)影響到進(jìn)入被檢設(shè)備內(nèi)的示漏氣體的分壓）；最后將被檢設(shè)備放入裝有檢測(cè)儀的真空環(huán)境中，利用壓差，檢測(cè)漏隙的存在與大小。

這三種檢漏方法都是大的類(lèi)型方式，每一種檢漏方式又可分為若干小類(lèi)的檢漏方法，對(duì)應(yīng)不同的設(shè)備與檢漏率。